(资料图片)
盛美上海披露调研纪要显示，公司的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。PECVD的毛利现阶段还是在40%-45%之间，未来可能提升到45%-50%区间。此外，公司还在研发两款最新的技术，IPA和超临界CO2干燥技术。超临界CO2干燥技术的研发已到快出成果的阶段。
关键词：
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盛美上海披露调研纪要显示，公司的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。PECVD的毛利现阶段还是在40%-45%之间，未来可能提升到45%-50%区间。此外，公司还在研发两款最新的技术，IPA和超临界CO2干燥技术。超临界CO2干燥技术的研发已到快出成果的阶段。
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